Atomic Force Microscopy (AFM)

Elektronenkraftmikroskope dienen der Ermittlung und Darstellung von Werkstücktopographien bis in den atomaren Bereich. Hierzu wird eine pyramidenförmige Siliziumspitze an einem feinen Hebel über die zu untersuchende Oberfläche geführt. Dieses System dient als hochempfindliche Blattfeder die auf Kräfte im Bereich von 10-5 bis 10-7 N reagiert. Der Hebel wird durch die molekularen und atomaren Kräfte der Oberfläche ausgelenkt. Die Auslenkung kann mit einem Lichtzeiger gemessen und über einen Regelkreis konstant gehalten werden. Neben der Partikelverschmutzung können auch die Rauheitskennwerte der Oberfläche ermittelt werden, sofern sie unterhalb von einigen µm liegen. Die Methode eignet sich aufgrund ihrer Empfindlichkeit nur für den Einsatz im Messlabor.