Elektronenspektroskopie und -mikroskopie

Diese Verfahren sind geeignet für den Nachweis von Kontaminationsschichten im nm-Bereich, erfordert jedoch einen hohen apparativen Aufwand der sich in den Kosten für das Verfahren niederschlägt. In der Produktion können derartige Verfahren aufgrund des hohen Aufwands zumeist nicht routinemäßig durchgeführt werden.