Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA)

Im Vergleich zu anderen Gerätetechniken kann man mit der RFA nur vergleichsweise dicke Schichten im µm-Bereich analysieren. Das Verfahren eignet sich hervorragend zur Analyse von Nitritschichten. Zudem können mit diesem Verfahren lediglich glatte Flächen analysiert werden. Das Verfahren sollte nur im Messlabor eingesetzt werden und scheint nicht für die Online-Kontrolle in der Produktion geeignet.