Glimmentladungsspektroskopie (GDOS)

Mit dieser Form der Spektroskopie können nur relativ dicke Schichten (µm-Bereich) analysiert werden. Das Verfahren eignet sich z. B. hervorragend zur Analyse von Nitritschichten. Dünne Kontaminationsschichten im nm-Bereich können nur schwer erfasst werden. Ein weiteres Problem bei der Glimmentladungsspektroskopie ist die Quantifizierung der gemessenen Elemente, die durch einen Vergleich mit Standards durchgeführt wird. Schließlich können nur ebene Flächen untersucht werden.